數字式質量流量控制器-金屬密封
數字式質量流量控制器-金屬密封
VIC-W200系列金屬密封型數字式質量流量控制器（MFC），產品同時支持傳統模擬量和RS485數字信號，氣體通路及密封件采用金屬密封及聚四氟乙烯材質，適用于所有毒性氣體、腐蝕性氣體、易爆性氣體或高壓環境。
特點
全測量區間內響應速度≤1秒
金屬密封及PTFE，對有毒及腐蝕性氣體，易爆性氣體耐久性強
同時支持RS485和模擬量信號
適用浪涌和過電壓的內部電路設計
維持準確度，溫度變化不敏感
進出口可熔接，完全防止產品漏氣
技術規格
| 型號 | VIC-W210 | VIC-W220 |
| 流量范圍(N2 換算基準 ) | 5sccm至1.5slm | 1.5slm至50slm |
| 控制流量范圍 | 2 ~ 100%滿量程 | |
| 準確度 | ≤±1%滿量程 | |
| 響應時間 | ≤1秒（10~100%滿量程） | |
| 線性度 | ≤±0.2%滿量程 | |
| 再現性 | ≤±0.2%滿量程 | |
| 閥門類型 | 常閉閥 | |
| 密封類型 | 金屬密封+FEP封裝O型圈 | |
| 通訊方式 | 模擬：0-5VDC或4-20mA 總線：DeviceNet | |
| 電氣接頭 | 9針D-Sub公頭 | |
| 電源 | +15VDC至+24VDC | |
| 溫度 | 操作溫度：5-50℃（推薦15~35℃） | |
| 預熱時間 | 15分鐘（準確度保證：30分鐘） | |
| 法蘭連接 | 1/8"~1/2"LOK或VCR（根據型號） | |
產品尺寸
質量流量控制器訂購參數確認單