磁懸浮復合分子泵
磁懸浮復合分子泵
Osaka復合分子泵使用磁懸浮軸承實現無油的排氣，而且維護周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產品。
特點
全方位安裝
輕巧設計
節能
分子泵停止與啟動時間短
附帶維護警報機能
低振動
無需調整
自動校準
可控制轉子旋轉速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規格 NRTL/SEMI-S2/CE
應用
半導體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學部件制造
加速器，放射線設施，核聚變研究
熱處理
研究開發
技術規格
型號 | TG390M | TG420M | TG900M | TG1300M | TG2400M | |
法蘭 | 吸氣口ISO-R/CF | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 |
排氣口 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | |
排氣速度 | N2（附加金屬過濾網） | 320L/s | 370L/s | 860L/s | 1230L/s | 2300L/s |
H2 | 290L/s | 300L/s | 1050L/s | 1200L/s | 1100L/s | |
大壓縮比 | N2 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | 4.5×103 | 1.5×104 | 1.5×104 | 1.5×103 | |
極限壓力 | ISO-R/CF | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa |
可達氣體流量 | N2（sccm） | 2000 | 2000 | 3000 | 3000 | 3000 |
推薦輔助泵 | ≥160L/min | ≥160L/min | ≥250L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | |
容許輔助壓力 | 400Pa | 400Pa | 500Pa | 500Pa | 200Pa | |
重量Kg | ISO-R/CF | 14/17 | 14/17 | 34/42 | 34/42 | 45/54 |