分子泵組（真空排氣臺）
分子泵組（真空排氣臺）
真空泵組是通過組合各種泵來實現真空環境的系統。
真空廣泛用于先端科學技術到一般產業的領域。 根據用途所需的真空條件也是不同的。 考慮對環境的影響，可凝性氣體、腐蝕性氣體的處理是應該解決的重要問題。
特點
根據應用情況，選擇分子泵或前級泵
緊湊型安裝
移動式機臺
選配真空計，實時壓力監測
應用
研發試驗
真空爐排氣
一般抽真空應用
技術規格（常用）
| 型號 | ST060FR060桌面式真空排氣臺 | |
接口形式 | 吸氣口 | KF40 |
進氣口 | G 1/2” | |
排氣速度 | N2 | 60L/s |
N2帶保護濾網時 | 55L/s | |
極限真空度 | 5×10-6Pa以下 | |
| 真空泵 | 復合分子泵 | TG60FRAB /OsakaVacuum |
軸承型式 | 陶瓷軸承、脂潤滑 | |
冷卻方式 | 強制空冷 | |
轉速 | 69000rpm | |
啟動時間 | 1.5～2min | |
停止時間 | 15～25min | |
壓縮比N2 | 2×107 | |
壓縮比H2 | 3×103 | |
容許背壓 | 800Pa | |
軸承壽命 | 20000hour | |
分子泵控制器 | TC75 | |
輔助泵 | VRD4 | |
輔助泵形式 | 雙級選片式真空泵 | |
輔助泵排氣速度 | 66L/min | |