殘余氣體分析儀
殘余氣體分析儀
XT系列
Extorr是一家專業研究及生產殘余氣體分析儀（RGA）的公司，擁有XT系列殘余氣體分析儀，原理是四極質譜儀，RGA內置電阻規和離子計。是一種重要的測量設備，可用于任何真空系統。Extorr XT殘留氣體分析儀(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu質量數范圍。RGA配置一個標準的CF2.75英寸法蘭。每個功能都具有自動啟動和關閉，并將不斷監測從大氣壓至超高真空。內置的皮拉尼壓力計和離子壓力計不斷監測總壓力，并調節和保護RGA。這些功能被無縫地集成到Extorr VacuumPlus軟件包中。
特點
內置皮拉尼壓力計和離子壓力計的殘余氣體分析儀
1-100、1-200和1-300 amu質量數范圍可選
標準法拉第探測器（FC）與可選的電子倍增器（EM）
實時Windows軟件能夠進行多臺RGA同時操作
現場可更換兩根敷釷的銥絲
優于1 amu分辨率
8個數量級的動態范圍在一次掃描
質譜，泄漏檢測和壓力隨時間的變化
內建診斷，容易升級的軟件和固件
完全可插入的探頭
應用
泄漏測試
等離子體特性
基準壓力監測
表面科學
真空工藝監控
真空技術教育
真空爐監控
材料制造
電子顯微鏡
材料分析
RGA技術規格
| 質量數范圍 | |
| XT100 | 1-100 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT200 | 1-200 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT300 | 1-300 amu 法拉第杯 (FC) |
| XT100M | 1-100 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM) |
| XT200M | 1-200 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM) |
| XT300M | 1-300 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM) |
| 類型 | 四極質譜儀 |
| 探測器類型 | 標準：法拉第杯 (FC) 可選：電子倍增器 (EM) |
| 分辨率 | 大于0.5 amu@10%峰值高度?？稍谡麄€質量范圍內調節至恒定的峰值寬度。 |
| 靈敏度（A/Torr） | 5×10-4Torr（FC）。用戶可在整個高壓范圍內調節。用N2@28 amu測量，全峰寬1 amu，高度10%，電子能70 ev，離子能6 ev，電子發射電流2 mA。 |
| 可檢測分壓 | 5 × 10–11 Torr (FC) 5 × 10–14 Torr (EM) |
| 工作范圍 | RGA：≤10–4 Torr 皮拉尼計：10–3 Torr至大氣壓 離子計：≤10-2Torr |
| 工作溫度 | 電路部分：50℃ 探頭：100℃ |
| 烘烤溫度 | 300℃（僅探頭，移除電路部分） |
| 總壓強測量 | 皮拉尼計：10-3 Torr 至大氣壓, 離子計：2 x 10-10 Torr至10-2 Torr |
| 離子源 | |
| 設計 | 開放離子源，電子撞擊電離 |
| 材質 | SS304、Kovar、鎢、氧化鋁、銥、銅、鎳、氧化釷、白金 |
| 燈絲 | 雙釷涂層銥燈絲，帶固件保護。內置1到30W的電子脫氣裝置（可現場可更換） |
| 電子能量 | 11至150V,可編程的 |
| 離子能量 | 1至12V,可編程的 |
| 聚焦電壓 | 0至150V,可編程的 |
| 發射電流 | 0.1至4 mA,可編程的 |
| 其他參數 | |
| 探頭長度 | 172.72mm，從法蘭到頂端 |
| 法蘭 | CF40（2.75”） |
| 探頭管內徑 | 35mm |
| 電路部分體積 | 84 x 122 x 188mm, 可拆卸 |
| 預熱時間 | 30分鐘質量穩定性±0.1 amu |
| 計算機接口 | RS-232C, 至高115,200波特率,或USB. |
| PC要求 | PC運行Windows 2000, XP, 7,8或10系統，1024 x 768VGA圖形顯示器，鍵盤，鼠標，光盤驅動器，和一個未使用的USB或RS-232C端口。 |
| 軟件 | 隨機附帶VacuumPlus窗口軟件，基于應用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系統 |
| 電源 | 24 VDC @ 2.5 Amps，120/240 VAC電源適配器. |
| 重量 | 2.27Kg（探頭及電路部分） |