Hicube泵組
Hicube泵組
Hicube 系列移動式真空泵組在業界設立了新的標準：新系列的HiPace渦輪分子泵和根據客戶應用需求可選的前級泵系列完美結合。 Hicube 真空泵組系列主要分為Hicube ECO（經濟型）、Hicube Classic、Hicube Pro三種真空泵組。真空泵組可選擇干泵或旋片泵作為前級泵，極限真空度可達 5 * 10-10mbar。針對特別有限的空間要求，Hicube 真空泵組中還特別提供尺寸非常緊湊的 HicubeEco經濟型泵組，其抽速范圍從 35 l/s 至 67 l/s。
根據HiPace 渦輪分子泵選擇的不同，HiCube真空泵組還可以分為HiCube 80真空泵組系列、HiCube 300真空泵組系列、HiCube 400真空泵組系列、HiCube 700真空泵組系列。
特點
渦輪分子泵和前級泵的優秀結合；適合多種應用需求；
模塊化設計原則輕松滿足客戶多種應用需求；各部件配合簡便，易于保養維修；
集成的驅動系統，無需額外的控制系統；“即插即用”-無需布線和安裝；
意外斷電時，前級真空安全閥（可選.）可保護真空腔體免受返流影響；
可以直接連接真空計
應用
研發
加速器
分析和表面物理學
真空工藝技術
一般真空應用
技術規格
參數 型號 | 連接法蘭 | 抽速L/S | 極限真空mbar | 前級泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | |||||||||||||
Hicube 80 Eco | KF40 | 35 | 10-7 | 15L/min | ||||||||||
Hicube 80 Eco | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 15/min | ||||||||||
Hicube 80 Eco | CF63 | 67 | 10-7 | 15L/min | ||||||||||
| Hicube Classic | 法蘭連接 | 抽速L/S | 極限真空mbar | 前級泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | MVP040 | MVP070 | DUO 3 | DUO5M | |||||
Hicube 80 Classic | KF40 | 35 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 80 Classic | ISO-K 63 | 67 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 80 Classic | CF63 | 67 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 300 Classic | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 300 Classic | CF100 | 260 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 400 Classic | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 400 Classic | CF100 | 355 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
Hicube 700 Classic | ISO-K160 | 685 | 10-7 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | |||||||
Hicube 700 Classic | CF160 | 685 | 10-8 | 10-8 | 5*10-10 | 5*10-10 | 2.3 | 3.8 | 2.9 | 5 | ||||
| Hicube Pro | 法蘭連接 | 抽速L/S | 極限真空mbar | 前級泵抽速m3/h | ||||||||||
入口 | N2 | ACP | Duo | Pascal | ACP | Duo | Pascal | |||||||
Hicube 80 Pro | KF40 | 35 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 80 Pro | ISO-K 63 | 67 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 80 Pro | CF63 | 67 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 300 Pro | ISO-K100 | 260 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 300 Pro | CF100 | 260 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 400 Pro | ISO-K100 | 355 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 400 Pro | CF100 | 355 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 700 Pro | ISO-K160 | 685 | 10-7 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||
Hicube 700 Pro | CF160 | 685 | 5*10-10 | 14/27 | 9/20 | 9/18 | ||||||||