氣體混合系統
氣體混合系統
質量流量控制型-氣體混合系統，主要核心部件是氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller），可進行各類氣體的定量混合，比例混合等，適用于各類實驗室氣體混合應用，支持已知各種氣體，自帶電腦軟件，可在電腦上遠程監控實時混合情況。
各組氣體流量范圍支持從2毫升/分鐘至3000升/分鐘（其它流量混合請咨詢）。
技術規格
| 氣體混合系統 | GMS |
| 支持氣路 | 至多8路氣體混合（其它請咨詢） |
| 氣體控制原理 | 熱式質量流量控制，壓力式 |
| 準確性 | ±1%F.S（可選±1%Rd），≤50L/min ±1%F.S，50L至400L/min ±2%F.S，400L至2000L/min ±2.5%F.S，2000L至3000L/min |
| 線性 | ±0.2%F.S |
| 響應時間 | ≤1 sec，≤200L/min時 ≤2 sec，200L至3000L/min時 |
| 壓力事項 | 根據現場工況 |
| 預熱時間 | 15分鐘（30分鐘精度保證） |
| 工作溫度 | 5-50℃ |
| 電源 | 220V AC |
| 連接方式 | LOK、VCR、ISO法蘭等 |
| 密封 | 橡膠密封，金屬密封可選 |
| 顯示 | 現場顯示：實時流量，累計流量 PC顯示：實時流量，累計流量，流量曲線 |
| 其它選項* | 1.CDG（薄膜壓力計）：實時監測下游壓力，精度可達±0.2%壓力讀數 2.排氣節流閥（或其它閥門）：實時控制下游腔體混氣壓力 |
*其它選項產品（具體請咨詢）：
1.CDG薄膜壓力計型示意圖
2.真空閥門型示意圖
