干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵
Osaka ER100D節能型干式螺桿真空泵，ER100DC抗腐蝕性氣體應用版本可選。
特點
同型號干式真空泵中的頂級節能，小型?輕量。
ER100D：適用于輕負載潔凈工藝的排氣
ER100DC：使用了耐腐蝕能力強的材料，可排腐蝕性氣體
應用
潔凈排氣
濺射裝置的排氣
分子泵等高真空泵的輔助泵
裝載室，搬送式排氣
小型實驗設備的排氣
吸附或搬送
分析
測量儀器的排氣
真空爐排氣
電子槍，離子源的排氣
技術規格
| 型號 | ER100D/ER100DC（耐腐蝕型） | |
| 排氣速度（L/min） | 1670 | |
| 極限壓力（Pa） | 5 | |
| N2吹掃用氣體流量（Pa.m3/s） | 17-20 | |
| 冷卻水用量（L） | 1.5-3 | |
| 冷卻水溫度 | Max 30℃ | |
| 電源 | 電壓（V） | 200-240 |
| 頻率（Hz） | 50/60 | |
| 相數 | 三相 | |
| 電源容量（KvA） | 3.2 | |
| 功率（W） | 極限壓力時 | 400 |
| 冷卻方式 | 水冷 | |
| 重量（Kg） | 60 | |