BAG302離子真空計
BAG302離子真空計
INFICON Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）的廣泛測量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計 BAG302 能夠輕松地更換雙燈絲傳感器、內置 OLED 顯示器、設定點繼電器和對數線性模擬輸出以及集成 RS485 數字接口，提高了集成靈活性。這些功能配以堅固的設計，使 BAG302 為其自身的基本壓力測量儀器帶來經濟且可重復的過程，并提供高價值、低擁有成本的選擇。
特點
測量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar（1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr）
雙標準長使用壽命氧化釔銥絲
一體式主動測量儀，內置顯示器、設定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數字接口
帶鍵盤的明亮的數字 OLED 顯示屏，簡化設置、操作和編程
用戶可編程的設定點繼電器
用戶可編程的顯示器單位：mbar、Torr 或 Pa
用戶可選的發射電流自動設換范圍
機械強度和堅固性
各種法蘭的選擇
易于更換的傳感元件
合規和標準：CE、RoHS
應用
對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業鍍膜
低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制
技術規格
測量范圍 | 1*10﹣9至5*10-2Torr/1.3*10-9至6.7*10-2mbar/1.3*10-7至6.7Pa |
精度 | 10-8至5*10-2Torr ±15%讀數 |
重復性 | ±5%讀數 |
顯示 | OLED,3位數+1位指數，Torr,mbar,Pa單位可選 |
X-射線極限 | 5*10-10Torr |
發射電流 | 100Μa,4mA或自由切換之間 |
除氣 | 3W,EB |
烘烤溫度 | 200℃，僅規管 |
安裝方式 | 任意 |
重量 | 270g |
數字接口 | RS485-ASCII協議 |
信號輸出 | 線性模擬量0-9V |
設定繼電器 | 1個設定點繼電器,1W,30A直流或交流無感電阻 |
電源 | 20-28Vdc,30W,防止反轉保護和瞬態過電壓。 |
燈絲 | 雙氧化釔涂銥絲或雙鎢絲 |
電氣接口 | 9 Pin D-Sub模擬和9Pin D-sub RS485 |
認證 | 符合CE標準 |
環境認證 | 符合RoHs標準 |
訂購資料
