真空測量計
前級真空
絕對壓力
泵抽真空檢測
UHV測量
管道壓力監測
寬壓力量程測量
真空泵
油旋片泵
無油渦旋泵
螺桿真空泵
渦輪分子泵
磁懸浮分子泵
泵組(排氣臺)
氣體流量控制
MFM
MFC
3000L/min質量流量控制器
2mL/min質量流量控制器
多種氣體混合
加熱型氣體流量控制器
薄膜沉積
膜厚儀
晶振片
探頭潰入裝置
濺射探頭
6晶振片旋轉探頭
多通道薄膜沉積監控
殘余氣體分析
RGA
真空本底分析
真空質量監測
工藝過程監控
氣體混合檢測
腔體泄露檢查
真空檢漏
氦質譜檢漏
鹵素檢漏
真空腔體漏點檢測
管道泄露檢查
壓力容器泄露檢查
SEMI檢漏應用
閥門
真空閥門
擺閥、閘閥
真空角閥
排氣節流閥
氣體管路閥門
隔膜閥
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