OPG550光學等離子體真空計
OPG550光學等離子體真空計
INFICON Augent?光學等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監測解決方案。體積小巧的Augent?集兩種傳感器技術于一身。進行氣體類型監測時，壓力測量范圍為1 × 10-7至5毫巴；總壓力測量范圍可達1 × 10-7毫巴至大氣壓。Augent?自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器，當壓力超出20巴時可以關閉等離子體。
在1 × 10-7至5毫巴的測量范圍內，該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等氣體。
特點
高速檢漏，可進行試驗箱泄漏檢查
提高生產率和產量
使用壽命長，燈絲不易燒毀，防空氣侵入
耐過程化學腐蝕
采用智能算法，易于集成
結構緊湊，空間占用小
啟動快速可靠
應用范圍
試驗箱泄漏檢查，提供更快的RoR (上升速率)試驗速度
進行泄漏檢查，以查找供氣管路的內部泄漏
實時端點控制
氣體類型和濃度控制
技術規格
| 型號 | OPG550 | ||||||
| 測量范圍N2 | 毫巴(托) | 1 × 10-7 ... 5 (7.6 10-8 ... 3.8) | |||||
| 檢測限制25升試驗箱 | |||||||
| 壓力上升方法中的O2泄漏 | 毫托/分鐘 | ≥0.3 | |||||
| N2回填抽空期間的O2泄漏 | 毫托/分鐘 | ≥1 | |||||
| N2總壓讀數精度 | |||||||
| 1 × 10-7 ... 100毫巴 | 讀數% | 5 | |||||
| 壓力 | |||||||
| 限于惰性氣體<50°C | 巴(絕對) | ≤10 | |||||
| 溫度 | |||||||
| 運行(環境) | ℃ | +5 ... +50 | |||||
| 存儲 | ℃ | -20 ... +70 | |||||
| 在法蘭處烘烤，帶電子單元 | ℃ | ≤80 | |||||
| 在法蘭處烘烤，不帶電子單元 | ℃ | ≤120 | |||||
| 一年30天的相對濕度 | % | ≤95 (不凝結) | |||||
| 電源電壓 | |||||||
| 真空計處 | 伏(直流) | +14.5 ... +30 | |||||
| 波紋電壓 | V(p-p) | ≤1 | |||||
| 功耗 | W | ≤5 | |||||
| 待接保險絲 | AT | ≤1 | |||||
| 輸出信號 | |||||||
| 模擬 | 伏(直流) | 0 ... +10 | |||||
| 數字 | RS232C | ||||||
| 電氣連接 | D-Sub，9針，公頭 | ||||||
| 高壓(在測量室) | |||||||
| 點火電壓 | 千伏 | ≤4.5 | |||||
| 運行電壓 | 千伏 | ≤3.3 | |||||
| 暴露于真空的材料 | |||||||
| 一般 | AI2O3、不銹鋼1.4435 | ||||||
| 陽極 | 鉬 | ||||||
| 電離室 | 鈦、不銹鋼1.4016 | ||||||
| 點火輔助裝置 | 不銹鋼1.4310 | ||||||
| 真空法蘭 | DN16 ISO-KF | ||||||
| DN25 ISO-KF | |||||||
| DN16 CF-R | |||||||
| 8VCR，母頭 | |||||||
| 內部容積 | 立方厘米(立方英寸) | ≤20 (1.22) | |||||
| 重量 | 克 | ≤700 | |||||
| 尺寸 | |||||||
| 占用空間 | 毫米 | 68×68 | |||||
| 高度 | 毫米 | < 137 | |||||
| 防護等級 | IP40 | ||||||
| 標準 | CE | ||||||
訂購資料
| 替換傳感器 | OPG550 |
| DN 16 ISO-KF | 351-590 |
| DN 16 CF-R | 351-591 |
| DN 25 ISO-KF | 351-592 |
| 8VCR，母頭 | 351-593 |