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    Stripe  CDG045Dhs加熱式電容膜片真空計

    INFICON Stripe高速電容膜片真空計是目前速度最快的高精度真空測量儀器。響應時間不到2毫秒,配備EtherCAT現場總線接口,開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性,而且具有無與倫比的零位穩定性。Stripe隨附INFICON已獲專利的獨特傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產品的影響。INFICON Stripe采用創新加熱概念,提供涼爽的接觸表面和獨特的速度性能,可實現前所未有的生產力提升,成為同類產品中最先進的真空儀器。

    特點

    高生產力 — 響應時間不到2毫秒(FS > 50毫托)

    靈活集成 — EtherCAT現場總線

    使用壽命長 — 經驗證的陶瓷傳感器

    無需重新校準 — 90ppm/年全方位穩定性

    應用

    原子層沉積

    高速過程控制

    PVD、CVD、蝕刻

    一般高溫真空應用

    訂購資料


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