JEOL電子槍/電源介紹
JEOL電子槍/電源介紹
電子槍/電源的構成
電子槍動作原理
電子槍是加速電子轟擊靶屏發光的一種裝置，它發射出具有一定能量、一定束流以及速度和角度的電子束。(該電子束的方向和強度可以控制，通常由熱陰極、控制電極和若干加速陽極等組成)電子槍用來提供電子束，并轟擊熒光屏形成不同灰度等級的圖像。
燈絲在通電流后會加熱，產生熱電子。
這些熱電子在加速電壓作用下加速。（在燈絲—陽極間）加速脫離燈絲的熱電子在偏向磁場（永久磁場or電磁鐵）作用下進行偏轉、對坩堝內的蒸鍍材料進行照射。
電子槍構造
電子束轉向方法=利用磁場 電子束掃描方法=利用磁場
JEOL電子槍·電源的特長
能量分布均勻的圓型電子束光斑
電子束的垂直入射性出色→最適合氧化物·升華物材料
高速掃描→能得到平坦良好的熔跡
低真空動作安定→電子槍的構造能實現在低真空的動作安定
優異的放電抑制電子回路能幫助實現安定的蒸鍍
電子槍燈絲
渦旋形燈絲
因為燈絲上流有負的高壓電、再加上電場的關系，呈正極的離子會通過陽極中央對燈絲的中央附近進行攻擊。這些沖擊會造成燈絲斷線。
長壽命燈絲
這種燈絲、為了避免離子的攻擊，呈U字形的形狀。離子會被中央部的輔助電極所吸引。
EB電源的各機能
操作盤
操作盤的外部制御（信號輸入和輸出）
如何穩定使用電子槍
不穩定的主要原因
1、壓力上升
①蒸鍍材料的放出氣體
②排氣能力的低下
③構造物中的滯留氣體的大量放出
④真空裝置內部的污染
2、絕緣距離低下（高電壓部）
①高電壓部絕緣陶瓷的污染 ②突出物（蒸鍍垃圾等）
電子槍磁場環境的注意點
不要把高磁場導率物質或磁性物放在電子槍周圍，有可能影響電子槍的性能
使用電子束對高磁導率蒸鍍材料進行照射的時候，隨溫度的變化電子束位置也會發生變化
來源：鍍膜行業交流